DIN 32564-1-2004 微系统用制造设备.术语和定义.第1部分:微系统技术的一般术语

作者:标准资料网 时间:2024-05-21 15:28:26  浏览:9154   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Productionequipmentformicro-systems-Termsanddefinitions-Part1:Generaltermsofmicro-systemtechnology
【原文标准名称】:微系统用制造设备.术语和定义.第1部分:微系统技术的一般术语
【标准号】:DIN32564-1-2004
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2004-05
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:工件;微技术;定义;半导体工程;制造;设备结构;精密机械;加工工程;制造用设备;设备工程;术语;加工设备;标准化
【英文主题词】:microtechnique;terminology;definitions;workpieces;definition;plantengineering;finemechanics;productionequipment;manufacturingequipment;standardization;productionengineering;semiconductorengineer
【摘要】:
【中国标准分类号】:N04
【国际标准分类号】:39_020;01_040_39
【页数】:6P;A4
【正文语种】:德语